編者按：近日，新華通訊社旗下瞭望東方周刊雜志探索中關村數(shù)個特色園區(qū)，解碼北京高質量發(fā)展的動力源。北京爍科中科信作為填補技術空白的行業(yè)“頂流”之一，受到聚焦。

“引力場”也是“動力源”

“拎包入住”的成長環(huán)境加快成果轉化企業(yè)聚集，一個又一個填補技術空白的行業(yè)“頂流”扎堆涌現(xiàn)。

“集成電路產業(yè)鏈很長，離子注入是這條產業(yè)鏈前道核心關鍵裝備。先進技術節(jié)點的集成電路芯片，通常需要近30道注入工序，對設備的注入能量、劑量、角度、顆粒污染、金屬污染等控制要求嚴苛，以確保器件電性能、合格率滿足要求。但此前，高端的離子注入機長期被國外企業(yè)壟斷。”北京爍科中科信電子裝備有限公司總經理李進說。

瞄準國內技術空白，解決“卡脖子”技術難題，成為許多北京科創(chuàng)企業(yè)不約而同的創(chuàng)新目標。

通過技術攻關，北京爍科中科信將劑量注入精度這一核心技術指標提高到業(yè)界先進水平，自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，打造注入機全譜系發(fā)展新格局，先后榮獲北京市科學技術進步一等獎、二等獎，實現(xiàn)我國集成電路制造領域全系列離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展。