2023年12月21日
“國資小新”聯(lián)合國務(wù)院國資委網(wǎng)站、
《國資報(bào)告》雜志
推薦20個(gè)央企國之重器選項(xiàng)
并在“國資小新”、
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綜合各平臺(tái)網(wǎng)友投票情況和專家意見
電科裝備離子注入機(jī)獲評(píng)
中國電科實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝全覆蓋
離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。當(dāng)前，28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。中國電科旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局，實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋，切實(shí)保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。
“2023年度央企十大國之重器”！